XYZ通光孔平台
● 由PBA DX F无铁芯直线电机提供动力
● 出色的几何性能
● 外形轻薄、带通光孔的集成XY平台
● 适合于各类应用要求的可扩展设计
XYZ Theta双托架平台
● 专门针对高精度晶圆探测应用设计
● 由PIX铁芯直线电机提供动力
● 针对高动态应用优化
● 双托架，增强性能
XY Theta平台
● 专门针对高精度激光切割应用设计
● 速度快，精度高，趋稳时间短
● 由PBA PIX铁芯直线电机提供动力
● 适用于外形打磨/修整设备
XY Theta双轴平台
XY Theta通光孔平台
● 紧凑、轻薄设计，通光孔大
● 高动态和微米级直线度
● 由DX F、ARC无铁芯电机提供动力
● 双面晶圆加工和准静态光学计量的理想选择
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