多普勒激光测距仪优点：① 组件少，使用简单 ②高精度，易操作
性能：①超平滑运动 ②采用气体轴承技术驱动 ③高速且低速波动 ④维护简单
①单平面（共平面）②空气轴承龙门架（光刻）
①桥式龙门架②柔性龙门架③T型龙门架④空气轴承纳米精密龙门架
①XYZ通光孔平台②XYZ Theta双托架平台③XY Theta平台④XY Theta双轴平台⑤XY Theta通光孔平台
①PAS校准模块②XYZ双托架模块③OCTO多头直线执行器多轴模块④XY通光孔模块
①无铁芯直线电机②有铁芯直线电机③直线轴电机④无铁芯弧形电机⑤直驱旋转电机⑥音圈电机
①标准执行器②微型执行器③定制执行器